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研微申请基板处理装置及其管路匹配方法专利,减小基板处理过程中处理腔室内压力波动提升质量:室内微改
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金融界2025年3月24日消息,国家知识产权局信息显示,研微(江苏)半导体科技有限公司申请一项名为“基板处理装置及其管路匹配方法”的专利,公开号CN119663236A,申请日期为2024年12月
2025-05-29
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