金融界2025年5月3日消息,国家知识产权局信息显示,江苏邑文微电子科技有限公司取得一项名为“一种改进型晶圆传输装置”的专利,授权公告号 CN 222801773 U,申请日期为 2024 年 6 月室内微改 。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种改进型晶圆传输装置,包括传输本体,传输本体包括传输腔室、第一管路、第二管路以及控制件,第一管路一端与传输腔室连通,另一端适于与抽真空设备连通,第二管路一端与传输腔室连通,另一端适于与清洁气源连通,第一检测件设置在传输腔室上、第二检测件设置在第二管路上,均与控制件电连接,控制件具有在第一检测件获取的传输腔室内的第一真空度值小于等于第一阈值时,生成第一状态信息,在第二检测件获取的传输腔室内的第二真空度值大于等于第二阈值时,生成第二状态信息室内微改 。通过第一检测件和第二检测件,可实时反馈传输腔室内的工作状态,防止工艺腔污染并保证传输腔内的晶圆取放以及晶圆传输装置的稳定运行。
天眼查资料显示,江苏邑文微电子科技有限公司,成立于2018年,位于南通市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业室内微改 。企业注册资本3333.33万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏邑文微电子科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息187条,此外企业还拥有行政许可8个。
来源:金融界